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壓阻式壓力傳感器質(zhì)量好壞的區(qū)別

時(shí)間:2021-04-12 點(diǎn)擊次數(shù):

        壓力傳感器典型類(lèi)型壓力傳感器主要可分為壓阻式、電容式、壓電式、諧振式、伺服控制式和CMQS集成式等。壓阻式壓力傳感器又稱(chēng)擴(kuò)散硅壓力傳感器,其制造技術(shù)比較簡(jiǎn)單,線(xiàn)性好,價(jià)格通常也相對(duì)較低,但對(duì)溫度相對(duì)敏感,可能存在溫度漂移,且靈敏度相對(duì)較低,典型產(chǎn)品技術(shù)數(shù)據(jù)如下。

壓阻式壓力傳感器質(zhì)量好壞的區(qū)別(圖1)

        1、工作原理不同

        壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。

        壓電式壓力傳感器大多是利用正壓電效應(yīng)制成的。

        2、側(cè)重點(diǎn)不同

        壓電式壓力傳感器當(dāng)晶體受到某固定方向外力的作用時(shí),內(nèi)部就產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,同時(shí)在某兩個(gè)表面上產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷;當(dāng)外力撤去后,晶體又恢復(fù)到不帶電的狀態(tài);當(dāng)外力作用方向改變時(shí),電荷的極性也隨之改變;晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。

        壓阻式壓力傳感器采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。

        3、構(gòu)造不同

        壓電式壓力傳感器基于壓電效應(yīng)的壓力傳感器。它的種類(lèi)和型號(hào)繁多,按彈性敏感元件和受力機(jī)構(gòu)的形式可分為膜片式和活塞式兩類(lèi)。膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成。

        壓阻式傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線(xiàn)。壓力傳感器是測(cè)量工作介質(zhì)壓力的元件,其輸出通常是連續(xù)的模擬信號(hào)。壓力開(kāi)關(guān)是根據(jù)壓力控制電路通斷的元件,輸出通常是開(kāi)關(guān)值。

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